型号 | HGZQ-12-09 | 适用范围 | 适用于对振动要求高的场所 |
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测量精度 | 0.5μ | 固定频率垂直 | 1~1.8Hz |
台面重量 | 100 | 台面尺寸 | 1500*1000 |
气浮泵 | 超静音泵 |
HGZQ气浮隔振光学平台特点:
隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好。自动水平,自动充气,全部气动执行元件采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
应用范围:适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。
技术参数:
平台表面粗糙度0.5〜0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有频率1 ~1.8 Hz
振幅小于1 um
重复定位精度±0.05 mm
工作压力0.2~0.6(Mpa)
产品型号 | 长-宽-高 | 备注 |
HGZQ600x600x80 | 600-600-800 | 4支撑 M6螺孔孔距25mm |
HGZQ750x750x80 | 750-750-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ900x600x80 | 900-600-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ1200x800x100 | 1200-800-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ1500x1000x100 | 1500-1000-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ1800x1200x150 | 1800-1200-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ2000x1000x150 | 2000-1000-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ2000x1200x150 | 2000-1200-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ2000x1500x150 | 2000-1500-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ2400x1200x200 | 2400-1200-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ2400x1500x200 | 2400-1500-800 | 4支撑M6螺孔孔距25mm |
HGZQ3000x1000x300 | 3000-1000-800 | 6支撑M6螺孔孔距50mm |
HGZQ3000x1200x300 | 3000-1200-800 | 6支撑M6螺孔孔距50mm |
有更多规格可选,可异性定制 |
每个支架内有气囊,平台和支架接触通过压力轴承接触,支架和台面材料相同
不同之处
支架形状不同
充气方式不同,前者为每个支架单独充气,通过调节每个支架上的气压表操作调平工作(缺点是需要经常充气放气)后者为每个支架统一充气,通过一个气压表调节每个支架的气压,以达到更好的隔振效果
充气时间不同:前者在放气太多的情况需要重新充气,在经常实验的环境下需要实时考虑平台的精度,后者则可避免,首次调好之后,锁紧气压阀,总的气压会是一个恒定值,对调平工作带来了很大的方便。
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